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Wafer Ring(晶圆环)好坏鉴别方法

发布日期:2023-12-01 10:03:01   浏览量:295  TAG:Wafer Ring  晶圆环  晶圆环鉴别  晶圆环质量  

wafer ring(晶圆环)是半导体行业经常用到的一个备件耗材,按照外径可以分成6英寸、8英寸、12英寸等,也有定制的10英寸。

随着市场的竞争,市面上充斥着各种价格不一的wafer ring,今天我和大家说下决定晶圆环品质优劣的两个重要环节:

首先是原材料选择,市面上基本上有两种材质:SUS304和SUS420,大家对304都比较熟悉,304不锈钢也叫奥氏体不锈钢,这类不锈钢不能通过热处理来增加材质的硬度。420不锈钢也叫马氏体不锈钢,它可以通过热处理来增加硬度。我们今天谈到的晶圆环因为在使用过程中需要频繁扩张挤压,材质硬度一定要达到50~55HRC,所以304不锈钢材料不能用来做晶圆环,而实际市场上很多是用SUS304材质,通过适当增加厚度来提升硬度,实际铁环受力后依然会形变,出现弯折,产品寿命低,客户虽然下单成本降低了,但是请购频率大幅提升,最终客户还是多花钱了。

其次是加工工艺,晶圆环切割成型后需要进行热处理来增加硬度,例外表面需要进行抛光、亚光、镀镍等特殊工艺处理,这样产品才具有良好的粘性,也能长期保持洁净光亮。市面上低价的产品只有抛光一道工艺,其余的都没有做,这样在使用过程中就会出现表面容易划伤、氧化发暗等,直接影响膜和环的粘附效果,缩短了晶圆环的使用寿命。

最后也和大家分享下晶圆环的鉴别方法:

一看:看外观色泽,正品通过表面一系列处理后,色泽光亮,表面无任何划痕,四周打磨光滑;

二摸:用手在环的四周来回触摸,确认下是否光滑;

三掰:找任何一边,双手往一侧用力掰,松开双手后铁环形变是否恢复正常,如果形变无法恢复,那就说明材质有问题或热处理工艺没做好


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